柔性有机发光二极管作为半导体显示领域的重要发展方向，越来越受到市场的关注。
据咨询公司DSCC统计，终端市场已发布的5G定位器中，约83%采用了有机发光二极管屏幕，折叠屏定位器成为华为等各大终端厂商5G旗舰机型的首选。
从显示面板方面来看，柔性显示面板的出货量也在上升。2019年，中国AMOLED面板厂出货量约5600万片，同比增长133.5%，占全球出货量的12%，其中BOE位居全球第二。在国内市场，BOE柔性产品出货量达到86.7%，保持行业领先地位。
2020年，随着“新基础设施”战略的实施，中国的5G商用和物联网建设也将提速，作为交互端口的智能定位器也将成为人们日常生活中不可或缺的一部分。在一线厂商的推动下，柔性有机发光二极管产品将全面渗透液晶和刚性有机发光二极管智能***市场。
那么，为什么柔性有机发光二极管受到青睐呢？它的应用优势是什么，它的制备工艺是怎样的？本文将详细解释。
01柔性显示的应用优势
柔性显示是指利用柔性基板制作超薄、超轻、柔性产品的显示技术。基于柔性显示技术，定位器可以戴在手腕上，平板可以折叠成小本子放进口袋，电视可以像卷轴一样自由滚动。
AMOLED(有源矩阵有机发光二极管)是一种基于有机材料的自发光显示器件，主要由基板、TFT驱动阵列和有机发光二极管发光器件(金属阴极+有机发光层+阳极)组成。具有超薄、响应快、视角广、对比度高的特点，非常适合柔性显示。
3、灵活可卷曲:屏幕可以随意卷曲，这将***智能终端的固有形态，打破智能***、平板、笔记本、显示器等产品的界限。
2018年，央视频道的《加油！向未来》节目中，有一期内容专门针对柔性屏设计了非常苛刻的实验条件：1mm半径卷轴手动卷屏、100℃沸水煮、4吨液压机重压。
2018，央视频道《加油！在《致未来》节目中，有一期专门为柔性屏设计了非常苛刻的实验条件:用1mm半径的卷轴手工卷屏，100℃沸腾，4吨水压机高压。
柔性卷曲
然而，这款由BOE成电柔性6代线提供的5.99英寸柔性屏幕却异常坚韧。被“滥用”后，依然完好无损，还能正常显示，很神奇。
虽然只是一个针对柔性冰壶的科普实验，但对于它未来的应用还是很让人着迷的。柔性卷曲，国产柔性屏的品质已经有了，但是柔性卷曲智能终端的外观还需要整个行业的努力，比如电池、PCB、防护玻璃等元器件都需要柔性。
02柔性有机发光二极管显示器件生产技术
柔性有机发光二极管器件的结构主要包括背板(BP)和有机发光层(el)两部分，对应的工艺分为三部分，一部分是背板工艺，一部分是EL工艺，最后一部分是封装，如下图。
背板部分，目前柔性AMOLED通常采用LTPS（低温多晶硅）背板。
目前柔性AMOLED通常采用LTPS(低温多晶硅)背板。
柔性OLED面板主要工艺流程
1。ITO基板的预处理
ITO作为阳极，通常在TFT背板制造过程中形成。基片的平整度和清洁度会影响有机薄膜材料的生长和有机发光二极管性能，因此ITO表面必须严格清洗。
2，EL膜形成
通过ITO基板预处理制备的有机发光二极管材料包括有机小分子、高分子聚合物、金属和合金。大多数有机小分子薄膜是通过真空空热蒸发制备的。可溶性有机小分子和聚合物薄膜可以通过更简单、更快速和更低成本的溶液方法来制备。先后开发了旋涂、喷墨印刷、激光转移印刷等技术。而金属合金薄膜通常是通过真空空热蒸发制备的。下面重点介绍两种工艺:real 空热蒸发和喷墨打印。
(1)真空热蒸发:是指在真空中，通过电流加热、电子束轰击、激光加热等手段，将待蒸发的物质蒸发成原子或分子，然后以较大的自由程直线运动，与衬底表面碰撞，凝结形成薄膜。沉积膜的具***置由精细金属掩模(FMM)控制。
蒸发工艺对真空度、膜厚、FMM对准以及材料传输过程中的杂质控制有严格的要求。蒸发技术是目前各种EL成膜方法中设备和技术成熟度最高的，可用于制备注入层、传输层、发光层和阴极材料。其缺点是成膜速度慢，有机材料利用率低，大尺寸成膜均匀性差。因此，蒸发工艺主要用于中小型有机发光二极管器件的制备。
(2)喷墨打印:是指将各种有机功能层材料预先填充到墨盒中，用计算机将图形信息转换成数字信号，控制喷嘴的运动和墨滴的喷出，喷射到相应的位置形成所需的图案，从而实现精确、定量、定位沉积，完成最终的打印品。喷墨印刷可用于制备空空穴传输层、发光层和阴极材料，其他膜层仍需通过蒸发工艺完成。全膜喷墨打印技术正在开发中。与蒸发相比，喷墨打印技术简单，大大提高了材料利用率，适合制备大尺寸有机发光二极管器件。未来，随着印刷技术的成熟和大规模应用，有机发光二极管的制造成本可以大大降低。
在喷墨打印的相关技术中，聚合物墨水的发展最为重要，因为喷出液滴的均匀性主要取决于墨水的物理特性。目前墨***和印刷工艺不够稳定，容易导致EL性能、均匀性和可靠性差，是喷墨印刷亟待解决的技术难题。
3。包装过程
为了防止水、氧气和灰尘进入有机发光二极管显示器件，导致其寿命和性能下降，有必要发展有机发光二极管封装技术。目前常见的封装技术有玻璃或金属盖封装和薄膜封装。
(1)传统盖板封装:在充满惰性气体的环境中，用紫外光固化胶将有机发光二极管玻璃与玻璃盖板或金属盖板粘合，使有机层和夹在盖板与基板之间的电极密封，隔绝外界的水、氧气和灰尘。封装的缺点是金属盖容易翘曲变形，玻璃盖易碎，不适合发展柔性有机发光二极管技术。
(2)薄膜封装:沉积一定厚度的薄膜保护层代替盖板封装是目前主流的有机发光二极管封装工艺。薄膜包装包括无机薄膜包装、有机薄膜包装和有机/无机层重叠的复合包装。薄膜封装通常是通过PECVD(等离子体增强化学气相沉积)实现的，即利用微波或射频将含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，等离子体具有很强的化学活性，容易发生反应，在衬底上沉积出所需的薄膜)。然而，随着柔性有机发光二极管的兴起和轻薄化的要求，要求封装层的厚度越来越薄。可以以小的厚度实现良好的密度，从而可以获得优异的水-氧阻隔性能，这需要高的技术要求。目前业内内部审查采用ALD (atomic layer deposition，即以单原子膜的形式在基板表面逐层镀上物质的方法，类似于普通的化学沉积)工艺来达到上述效果。
03展望
从上面柔性有机发光二极管的制造工艺可以看出，柔性有机发光二极管工艺比LCD更复杂，尤其是良品率较高的核心蒸发工艺，目前仍主要掌握在韩国厂商手中。
在过去很长一段时间里，韩国制造商凭借其生产力和产量在灵活的有机发光二极管市场上占据垄断优势。
然而，随着在中国**投资建设的11条柔性生产线的量产，柔性有机发光二极管的全球市场格局将不可避免地被打破。目前，BOE在成都和绵阳的柔性6代线已经实现量产，其中成都柔性6代线的生产良率已经达到行业较高水平，国产柔性屏的竞争力正在稳步提升。
随着柔性技术的成熟，国产柔性屏的生产良率将进一步提升，在全球市场竞争中或许有弯道超车的机会。
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